半導体解説

評価法

PL
フォトルミネッセンス法(PL)
FTIR
赤外分光法(FTIR)
SEM
走査型電子顕微鏡(SEM)
TEM
透過型電子顕微鏡(TEM)
XRD
X線回折法(XRD)
XRT
X線トポグラフィー(XRT)
LST
赤外散乱トモグラフィー(LST)
LT
少数キャリアライフタイム(LT)
SIMS
二次イオン質量分析法(SIMS)
AFM
原子間力顕微鏡(AFM)
TZDB TDDB
酸化膜耐圧評価(TZDB, TDDB)
ラマン分光法
ラマン分光法(Raman)
ホール効果測定
ホール効果測定
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