シリコンの科学 | 半導体解説 | Semiジャーナル

半導体解説

シリコンの科学

シリコン結晶構造

シリコンの結晶構造

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Siの結晶面と結晶方位

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単結晶シリコン CZ FZ

単結晶Siの製造：CZ法・FZ法

シリコン偏析現象

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シリコンの汚染：汚染の種類

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Siの酸化膜：構造と不純物拡散

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Siの熱酸化：Deal-Groveモデル

SiO2 Si 界面

Si/SiO₂界面の構造と性質

シリコン窒化

シリコンの窒化膜：用途と製法

シリコン結晶欠陥

シリコンの結晶欠陥

シリコン格子間酸素

シリコン中の酸素：固溶度・定量

シリコンゲッタリング

Siのゲッタリング：IGとEG

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