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シリコンの科学

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単結晶Siの製造：CZ法・FZ法

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Siの熱酸化：Deal-Groveモデル

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Si/SiO₂界面の構造と性質

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シリコンの窒化膜：用途と製法

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Siのゲッタリング：IGとEG

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