半導体解説

製造工程

半導体 製造工程
【図解】半導体製造工程フロー
シリコンウェーハ
シリコンウェーハとは
洗浄
洗浄工程
成膜
成膜工程
半導体 エピタキシャル成長 MBE CVD
エピタキシャル成長
フォトリソグラフィー
フォトリソグラフィー
スピンコート
スピンコート
露光
露光
液浸露光
液浸露光
開口数
開口数
現像
現像
エッチング
エッチング
アッシング レジスト剥離
アッシング
マルチパターニング
マルチパターニング
CMP
CMP
イオン注入
イオン注入
アニール
アニール
配線工程
配線工程
ウェーハ検査
ウェーハ検査工程
ダイシング
ダイシング工程
ワイヤーボンディング
ワイヤーボンディング
モールディング
モールディング
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